佳能交付首部新一代光刻機


佳能(Canon)表示,正交付首部新一代光刻機,該光刻機使用新的生產技術,可以降低成本及用電量,公司目標是在3至5年內每年銷售約10至20部。

該光刻機將交付予由德州大學奧斯汀分校及英特爾(INTC.US)等有份支持的Texas Institute for Electronics,並會被用於晶片研發。(mn/k)~

阿思達克財經新聞
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