台積電力拚硫酸不外運 升級回收系統中央社記者張建中新竹31日電 (2025-10-31 11:18:29)

晶圓代工廠台積電積極建構綠色循環體系，以「一滴硫酸都不外運」為目標，不僅升級廠內廢硫酸回收系統，亦規劃透過零廢製造中心，將廢硫酸轉製成高附加價值的衍生產品，應用於工業原料及建築材料等領域。

台積電在新出爐的ESG（環境、社會責任、公司治理）電子報中指出，硫酸是半導體製程中的重要化學品，台積電於民國103年開發廢硫酸回收系統1.0版，實現廢硫酸再生為工業級硫酸並回用於廠內廢水處理系統。

為解決系統長期運行帶來的技術挑戰，台積電深入研究回收系統內的化學反應機制，開發新型催化劑取代鹽酸作為催化劑原料，結合實驗設計與多層次測試，研發出低腐蝕性的新型催化劑，不僅降低設備耗損風險，因催化效果提升而減少使用量。

此外，台積電透過引入搪玻璃反應器技術，利用高溫燒結形成的搪玻璃層覆蓋於槽體內部，取代傳統以黏合劑固定內襯材料的設計，有效克服黏合劑在高溫環境下失效所導致的內襯剝離現象，強化設備耐用度及穩定運行。

台積電「廢硫酸回收系統2.0版」於113年在晶圓15B廠設置並完成1年實際運轉驗證，新型催化劑對不銹鋼設備腐蝕率降低98%，催化劑用量減少99%，化學反應時間縮短80%以上。114年將廢硫酸回收系統2.0版列入新建廠區標準設計，深化物料再生價值。

台積電還致力落實空氣污染物最小排放目標，除開發削減技術使單一廠區氮氧化物（NOx）排放減少60%外，亦推動「氧化亞氮（N2O）削減技術專案」。

台積電表示，透過與供應商合作改造電熱式現址式處理設備優化空氣排放品質，經工研院實測單台設備的氧化亞氮削減率推升至90%，同時使氮氧化物排放量再降低40%，並已通過半導體製造設備安全衛生及環保標準（SEMI S2）與台積電新機台及新化學品審查委員會審核可行性。

台積電表示，至114年10月，技術已成功導入晶圓12A廠、晶圓12B廠、晶圓14A廠、晶圓14B廠、晶圓15A廠、晶圓15B廠，並列為新建廠區標準設計，精進溫室氣體排放處理能力。