崇越科技捐清大三座半導體模型 再擲1500萬深化產學鏈結黃仁杰 (2025-12-17 09:26:30)

為強化台灣半導體人才培育與前瞻研究能量，崇越科技16日於台北內湖總部捐贈三座半導體模型予國立清華大學半導體研究學院，協助教學展示與研究推廣。同時，由崇越科技董事長潘重良與清華半導體研究學院院長、「浸潤式微影之父林本堅共同簽署合作意向書，深化產學鏈結，共同培育下一代高階半導體科技人才。記者黃仁杰／台北報導

為強化台灣半導體人才培育與前瞻研究能量，崇越科技16日於台北內湖總部捐贈三座半導體模型予國立清華大學半導體研究學院，協助教學展示與研究推廣。同時，由崇越科技董事長潘重良與清華半導體研究學院院長、「浸潤式微影之父林本堅共同簽署合作意向書，深化產學鏈結，共同培育下一代高階半導體科技人才。

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崇越科技捐贈的三座半導體模型，將提供清華半導體學院於教學展示與對外推廣。（圖／崇越科技提供）[/caption]

崇越科技捐贈的三座半導體模型，將提供清華半導體學院於教學展示與對外推廣。三座模型呈現晶圓廠實際設計的立體架構；以及各項廠務運作系統模型，包括無塵室、機電空調、超純水、氣體供應、化學品供應、廢水與廢氣處理系統等；並透過擬真模型展示無塵室內的環境，與擴散、微影、蝕刻、清洗、薄膜沉積、CMP、離子植入等主要製程設備，有助學生與參訪者更直觀理解晶圓建廠、製程流程、設備運作及材料應用。

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未來五年，崇越科技預計每年投入300萬元贊助清華半導體學院。（圖／崇越科技提供）[/caption]

林本堅以突破性「浸潤式微影技術」享譽國際，將曝光介質以純水取代，突破解析度極限，使摩爾定律在45奈米世代後得以延續。崇越科技亦參與了這場浸潤式微影技術革命，因應客戶製程需求，與客戶、日本信越化學三方合作，從材料端著手，精準調校純水在光阻表面的接觸角、控制光阻的表面張力、優化防水層的特性最終成功開發出可支援浸潤式微影量產的光阻材料。潘重良分享，半導體材料雖然微小，但往往是推進一個製程世代、甚至改寫技術路線的關鍵。

未來五年，崇越科技預計每年投入300萬元贊助清華半導體學院，期待未來與清華半導體學院於材料開發、製程技術研發能有更深入的合作，進一步強化台灣的半導體自主創新能力。

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