華為麒麟9030挑戰DUV多重曝光極限 SMIC以設計優化突破EUV封鎖黃仁杰 (2025-12-17 11:04:38)




華為最新行動晶片麒麟 9030 近期引發半導體產業高度關注,不僅因其搭載於 Mate 80 與 Mate X7 新機,更因這顆晶片成為華為海思與中芯國際(SMIC)在美國長年限制 EUV 先進微影設備出口背景下,展現技術突破的重要案例。記者黃仁杰/編譯


華為最新行動晶片麒麟 9030 近期引發半導體產業高度關注,不僅因其搭載於 Mate 80 與 Mate X7 新機,更因這顆晶片成為華為海思與中芯國際(SMIC)在美國長年限制 EUV 先進微影設備出口背景下,展現技術突破的重要案例。


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華為最新行動晶片麒麟 9030 近期引發半導體產業高度關注。(圖/華為提供)[/caption]


根據半導體研究機構 TechInsights 拆解分析,麒麟 9030 採用 SMIC 的 N+3 製程節點,屬於在第二代 7 奈米(N+2)基礎上的延伸版本。TechInsights 指出,N+3 並非真正等同台積電或三星的 5 奈米製程,而是介於 7 奈米與 5 奈米之間,主要透過 DUV(深紫外)多重曝光與設計與製程共同最佳化(DTCO)技術實現。


TechInsights 認為,SMIC 在麒麟 9030 上並未大幅縮小前段製程(FEOL)中關鍵的鰭片間距、閘極間距與電晶體幾何結構,而是將重心放在後段製程(BEOL),也就是電晶體間的金屬互連層,藉由更密集且精準的佈線來取得有限的製程進步。


這種做法雖能在缺乏 EUV 設備下持續推進製程,但也伴隨顯著風險。由於 DUV 多重曝光需要高度精準的層對齊,任何微小誤差都可能導致線寬粗糙度上升與缺陷率增加,進而影響良率,一旦控制不當,製程穩定性將快速惡化。


TechInsights 也指出,麒麟 9030 顯示 SMIC 的策略已從單純追求節點微縮,轉向更嚴謹的設計紀律與系統層級優化。透過 DTCO,同步調整晶片架構、製程條件與良率管理,試圖在 DUV 技術天花板下榨取最大效能。然而,這類設計優化的提升空間相對有限,長期仍難以取代 EUV 帶來的製程飛躍。


分析認為,SMIC 未來仍可透過先進封裝技術進一步改善效能與能效表現,但對於以行動裝置為主的應用處理器(AP)而言,封裝帶來的助益有限。麒麟 9030 的意義,更多在於證明中國半導體產業正以設計能力與製程整合,試圖突破先進設備封鎖下的技術邊界。



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